西安西能光伏科技有限公司

特气柜（Gas  Cabinet），气体流量控制箱（Gas  Box  by  MFC），气瓶架(Rack)、阀门箱（特气柜VMB），阀门盘（VMP），气体混合系统（GAS BOX）

主要应用于：半导体，太阳能电池，微电子等需要超纯洁净气体的行业。

主用用于为PECVD，MOCVD等设备提供洁净，安全的气体。

有单瓶柜，双瓶柜，手动型，半自动型，全自动型。

控制有全自动，半自动，手动型

内部管路采用BA/EP级洁净VCR接头，阀门。

具有美观，紧凑，安全，质优价廉等特点。